宝德流量调节器8711系列详细介绍

气体质量流量调节器 (MFC)

Type 8711

采用 MEMS 技术的直接流量测量装置，适合额定流量范围 10 mlN/min 至 80 lN/min (N2)
高精度和高重复精度
调整时间短
可选的现场总线

8711系列是一台用于调节气体质量流量的装置，适合工艺技术领域内大多数的用途。在数字的电子调节设备中，会将以硅芯片为基础的传感器（参见第 2 页的描述）提供的数值，与规定的额定值进行比较；存在调节偏差时，会通过一种 PI 调节算法对发送到比例阀上的调节参数进行修改，由此补偿调节偏差。因为传感器直接处于气流中，所以测量反应时间非常短。质量流量可以保持在一个确定的数值上，或遵循规定的额定值曲线轮廓，而不会受到压力波动或设备中其他变化的影响。可针对两种不同的气体对型号 8711 进行校准，用户可在两者之间进行转换。一个直动式比例阀作为调节元件，确保了高反应灵敏度和装置良好的调节特性。典型的用途是，在以下领域中进行气体计量或配制混合气体：试验台、生物反应堆、热处理、材料涂层、燃烧器控制以及燃料电池技术