派克VSO系列低流量微型比例阀

派克VSO系列低流量双路常闭（NC）比例阀集成了热补偿功能，以保证在多种介质中都能够保持和可重复的流量控制。

VSO®Low Flow阀门提供了增强的流量控制的应用中，控制流量控制是0 - 500 sccm之间需要。像VSO微型比例阀，VSO®Low Flow微型比例阀提供了输入电流的气体比例流量控制。该阀可以控制与直流电流或脉冲宽度调制与闭环反馈，以提供*的系统性能。连同其提供广泛的媒体的控制能力，VSO®Low Flow微型比例阀非常适合于气相色谱和质谱设备制造商。
•使的低流量（0～500 SCCM）提高仪器精度控制
•热补偿，以保持的流量在广泛的媒体
•计算机自动校准和序列化性能可追溯性
•清洁氧气和分析服务使用
•验证性能测试到1000万个生命周期
•RoHS
典型的应用：
•气相色谱法
•质谱
压力和流量控制
质量流量控制