压力传感器的集成化是指将多个功用一样或不同的灵敏器材制造在同一个芯片上构成传感器阵列,首要有三个方面的意义:一是将多个功用*一样的灵敏单元集成制造在同一个芯片上,用来丈量被丈量的空间散布信息,例如压力传感器阵列或我们熟知的器材。二是对多个布局一样、功用附近的灵敏单元进行集成,例如将不同气敏传感元集成在一起组成“电子鼻”,使用各种灵敏元对不同气体的穿插灵敏效应,选用神经网络模式识别等进步数据处置技能,可以对混合气体的各种组分还监测,得到混合气体的组成信息,还进步气敏传感器的丈量精度;这层意义上的集成还有一种状况是将不同量程的传感元集成在一起,可以依据待丈量的巨细在各个传感元之间切换,在包管丈量精度的还,扩展传感器的丈量规模。集成化的第三层意义是指对不同类型的传感器进行集成,例如集成有压力、温度、湿度、流量、加速度、化学等灵敏单元的传感器,能还测到环境中的物理特性或化学参量,用来对环境进行监测。 智能压力传感器首要由传感器、微处置器及其关联电路组成。传感器将被测的物理量改换成相应的电信号,送到信号调度电路中,进行滤波、扩展、模-数改换后,送到微核算机中。核算机是智能传感器的中心,它不但可以对传感器丈量数据进行核算、存储、数据处置,还可以经过反应回路对传感器进行调度。由于核算机充分发挥各种软件的功用,可以完结硬件难以完结的使命,然后大大下降传感器制造的难度,进步传感器的功用,下降成本。 若是从布局上区分,智能传感器可以分为集成式、混合式和模块式。集成智能传感器是将一个或多个灵敏器材与微处置器、信号处置电路集成在同一硅片上,集成集成度高,体积小,但当前的技能水平还很难完成;将传感器和微处置器、信号处置电路做在不同芯片上,则构成混合式智能传感器,当前这类布局较多;初级的智能传感器也可以由许多相互独立的模块组成,如将微核算机、信号调度电路模块、数据电路模块、显现电路模块和传感器装配在同一壳布局内则组成模块式智能传感器。 |